Смазка-герметик Dow Corning High Vacuum Grease для уплотнения неподвижных соединений вакуумных установок

При производстве современных полупроводниковых приборов, создании сложных пространственных структур и металлизации гибридных схем требуется последовательное нанесение чередующихся слоев различных диэлектрических материалов (обычно оксида кремния и его нитрида) в рамках единого технологического цикла.

Такой подход значительно повышает межслойную адгезию и предотвращает расслоение структуры при последующих операциях вакуумного осаждения пленок, поскольку материал верхнего слоя конденсируется не на чистую поверхность нижней пленки, а на окисленную поверхность.

Эту задачу успешно решают современные вакуумные установки магнетронного нанесения с улучшенными характеристиками и надежностью.

Для осаждения пленок в таких установках используется рабочая камера с магнетронным распылительным устройством (МРУ) планарной конструкции (с одной дисковой мишенью) или мультикатодной системой (с тремя мишенями).

Установка оснащена микропроцессорной системой управления и позволяет наносить металлические и диэлектрические пленки, формировать каталитические слои наноструктур (Fe, Ni, Co и др.) на подложках диаметром до 200 мм или размером до 200х200 мм.

Скорость нанесения металлических пленок достигает 0,5 мкм/мин, диэлектрических пленок — 0,2 мкм/мин.

Для герметизации разборных неподвижных соединений вакуумных установок применяются специализированные вакуумные смазки с низким давлением паров.

Большинство герметизирующих смазок изготавливают на основе смеси вазелина и парафина с добавлением невулканизированного сырого каучука или силиконовых компонентов.

Качественные характеристики смазок оценивают с различных позиций. Например, допустимо несколько повышенное давление паров, если материал сохраняет однородность при работе и не чрезмерно размягчается при нагреве.

Современные смазки с низким давлением паров часто оказываются неэффективными, так как быстро выдавливаются из шлифового соединения и не выдерживают воздействия высоких температур.

После кратковременного использования соединение требует разборки, промывки в обезжиривающих растворителях и повторного нанесения смазочного материала.

Эффективное решение предлагает силиконовая смазка-герметик Dow Corning High Vacuum Grease, характеризующаяся широким рабочим температурным диапазоном (-45 °C...+200 °C), отличной химической стойкостью и превосходными техническими параметрами.

Компаунд Dow Corning High Vacuum Grease отличается низким давлением паров, минимальной летучестью, высокой водостойкостью, не подвергается плавлению и не течет при повышении температуры, хорошо совместим с большинством пластмасс и эластомерных материалов.

Применение смазки-герметика Dow Corning позволяет значительно увеличить период эксплуатации уплотнений разборных неподвижных соединений вакуумных установок, минимизируя необходимость в периодическом повторном смазывании.